混合气体公司如何装置混合气体

- 2018-08-29 -

       与其他标准气体制备不同的是,混合气体公司的电子混合气制备装置似乎更为复杂。混合气体公司电子混合气体分配装置使用的管道必须是EP(电解磨削)级,材质为316L。精密压力表或压力传感器优于0.25级,材质为316L。为了保证制备装置在使用前不造成污染,系统要求:正压试验1.5次工作压力,保持压力30分钟;真空氦泄漏检测:小于或等于10-9 ATM。Cc / s;水系统:- 80℃或更少;微量氧:小于或等于10x10 -9;颗粒物的测量:所以这等于5 EA/ft3在0.05。为防止颗粒物的产生,设备应配备高压、耐腐蚀的过滤器,如PALL生产0.003 dermatm不锈钢烧结或聚四氟乙烯滤芯。对气体滤清器的过滤效果进行不定期的评价和测量。当过滤效果下降时,应立即更换滤芯或滤芯。


        混合气体公司的电子混合气体中常用的平衡气体或基础气体,如:N2、H2、He、Ar、O2;气体、PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等组分,为了降低平衡气体中有害杂质的含量,在平衡气体高压清洗机中,通过平衡气体净化,纯度大于99.9999%,有在线H2O、O2出口净化器检测仪器,体现出口气体净化器随时关键杂质的含量,净化器内置气体过滤器。因为组件是有毒气体或有毒化学物质,净化气体完全和对象,真空泵不能排放大气排出气,化学方法,虽然可以通过中和反应,但由于参与水溶液,因此,是不推荐此种方法的,我们通常采用催化分解或燃烧的方法,可有效解决有毒气体,除了AsH3 AsH3处理通过气态毒素变成固态。


        混合气体公司为了避免交叉感染,气体分布装置的数量会根据业务情况决定,如匹配完成B2H 65 % - H2混合气,由于B2H6的化学性质,通过吹扫抽空很难在短时间内净吸附系统中残余B2H6吹净,如果系统配置PH3再次混合,毫无疑问会严重污染气体。因为它们也是掺杂气体,所以不会有少量的残留物。


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